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ナイトライド・ニュース

高出力の紫外線LED「低コストで安定量産」(日刊工業新聞)

NS365L-ERLM
 ナイトライド・セミコンダクター(徳島県鳴門市、村本宜彦社長、088・683・7750)は、波長が短く高出力の紫外線発光ダイオード(UV-LED=写真)を安定的に低コストで量産する技術を開発した。国際条約で製造・貿易が禁止される水銀を含むUVランプから置き換える、電子部品の製造用途などに提案する。7月下旬にサンプル出荷を始める。
 UV-LEDの波長は365ナノメートル(ナノは10億分の1)で、5ミリメートル径樹脂砲弾型UV-LEDに実装した場合、出力は15ミリワットと従来の製品と比べ出力を約4倍に高めた。
 波長の短いUV-LEDは発光効率が落ち、高出力が困難だった。そこで同社は、サファイアに凹凸加工した基板上へ緩衝層として施す窒化ガリウム(GaN)に換え、窒化アルミニウム(AlN)を積層。これによりGaNによる光の吸収をなくし、結晶性も高めた。
 これらを前工程で加工するため、従来のように後工程で複雑な加工が不要となり、安定して量産できる。
 2013年に採択された「水銀に関する水俣条約」で、20年までに水銀の製造・貿易が原則禁止され、水銀を含むUVランプが使えなくなる。液晶パネルや半導体、樹脂硬化、UVインク硬化などの製造工程ではUVランプが大量に消費されるため、量産技術の確立によりUV-LEDへの展開需要を開拓する。

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