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未だに、半導体の露光機には水銀を含むUVランプが使用されていますが、待機時間が長い、寿命が短い、UV照度の安定性が低い、オンオフによる制御ができないといった機能面での制約に加えて、国連環境計画 水俣条約により、環境問題からも半導体（LED）光源への切り替えが進むことが期待されています。
1チップで高出力を実現し、露光機用光源に最適なUV-LED NS365L-9RXTを開発いたしました。

◆背景

2020年以降、水銀の製造販売、輸出入を禁止する国連環境計画の水俣条約に基づき、紫外線（水銀）ランプを深紫外線LEDに置き換える動きが活発化することが期待されていますが、コスト優先の産業界の抵抗もあり、UV-LED光源への切り替えが進んでいない。

◆露光機専用UV-LED NS365L-9RXTの特徴

①高効率大出力UV-LEDチップを採用し、省エネ、長寿命

高効率、省エネ、長寿命な波長365nmUV-LEDチップを採用、UV出力3.2W（If：3A、Vf：4.6V）の大パワーを発揮します。

②半導体露光に適した狭い指向角

正確な露光を行うためには、平行光が必要ですが、一般的にUV-LED光源は指向角が広く（約120°）、露光用に取り込む光量が不足する傾向がありました。
そこで、予め深いリフレクターに紫外線透過率の高いレンズを組み合わせることで、指向角15°以下を実現しました。

③コンパクト

縦9ｍｍ×横9ｍｍ×高さ8.5ｍｍと大変コンパクトなので、実装密度を高めることができます。

④安価

量産１万個あたりの単価は約５千円と大変リーズナブルです。

◆用途

半導体、PCB等の露光機用の光源としての使用を想定。