ナイトライド・ニュース

1.背景

　マイクロLEDディスプレーは、液晶及び有機ELディスプレーの次世代のディスプレーとして、米国アップル社他、各国企業が開発に力を入れていますが、これらの企業が取り組む、赤、青、緑のマイクロLEDチップを応用する方式では、特に赤色のLEDチップの50µm以下の微細化が困難で、開発が遅れています。弊社のグループは、マイクロ紫外線（以下UV）LEDを使用して赤、青、緑色の蛍光体を励起する方式で、ディスプレー開発を進めており、実用化にあたって、マイクロUV-LEDチップのコスト削減が課題だった。

2.要旨

　弊社は、他社に先駆けて波長385nmのマイクロUV-LEDチップの開発に取り組んで参りました。従来のマイクロUV-LEDのチップサイズは、16μｍ×48μｍで、チップの間隔は横方向10μｍ縦方向30μｍと広く、ウエハから獲れる数量が4インチウエハから約340万チップでした。今回、開発のマイクロUV-LEDチップは、チップサイズが12μｍ×24μｍで、チップ間隔は縦・横方向共5μｍとなり、4インチウエハから獲得できるチップ数は、約1400万チップと約4倍になり、1チップ当りのコストが従来チップの4分の1となりました。また、電気特性的にも、良好な電気特性を確認し、近い将来の実用化に向けて大きく前進しました。25ｍｍ角サイズのディスプレーを作製する場合、30万個のマイクロLEDチップが必要ですが、1枚のウエハから11枚のマイクロLEDディスプレーが作製できます。（全てのチップはICドライバーで制御されてフルカラー画面を表示）

補足：食用小麦粉の粒径は10μｍ～100µｍなので細かい粉のサイズに近い。

チップサイズ12μｍ×24μｍ、チップ間隔5μｍ

マイクロUV-LEDチップの発光の様子（IF：100μA、VF：3.58V）

良好なI-V特性