ナイトライド・ニュース

　この度、弊社代表取締役 村本執筆「UV-µLEDの赤色/緑色/青色µLEDに対する優位性」についてが『〈続〉次世代蛍光体材料の開発』（シーエムシー出版）にて掲載されました。

書籍購入に関して、紹介割引（20％引き）が適用されますので（20％引き＝52,000円＋税）
書籍購入ご希望の方は、下記問い合わせフォームよりお申し付け下さい。
※書店での販売はしておりません。
問い合わせフォーム / ナイトライド・セミコンダクター株式会社 (nitride.co.jp)

1.背景

マイクロLEDディスプレイは、液晶及び有機ELディスプレイの次世代のディスプレイとして、米国アップル社他、各国企業が開発に力を入れていますが、これらの企業が取り組む、赤、青、緑のマイクロLEDチップを応用する方式では、特に赤色のLEDチップの100µm以下の微細化が困難で、開発が遅れています。改善策として、弊社のグループではマイクロ紫外線（以下UV）LEDを使用して赤、青、緑色の蛍光体を励起する方式の開発を進めていますが、今回InGaN系の材料を用いて赤色・緑色・青色の3種類の可視光マイクロLEDチップを作製し、ディスプレイ用光源としての可能性について評価しました。

2.本書記載実験内容

InGaN系材料を用いて4インチ赤色µLED、緑色µLED、青色µLED、UV-µLEDを作製しました。4波長のµLEDの品質が同等になるよう、チップ加工プロセスを同Lotで投入し、サイズおよび形状の異なる9種類のµLEDを形成し、①投入電流に対する電圧推移（I-V特性）、②投入電流に対する発光強度推移（I-L特性）およびEQE、③発光スペクトルを計測しました。I-L特性においては、チップサイズの違いを考慮して発光面積の電流密度に対する発光強度を測定し、4種類のウエハの9パターンｎチップにおける特性の違いについて検証を行いました。

3.結果と意義

形状およびサイズが異なる9パターンの赤色・緑色・青色のµLED及びUV-µLEDを作製した結果、UV-µLEDの電気特性が最も安定していることを確認しました。UV-µLEDは、電気的・光学的に安定しているので、蛍光体との組み合わせでバラツキの小さい安定したRGB発光が得られます。一方で3LED方式ディスプレイを採用する場合、今後、I-L特性および電流値による波長シフトといった、発光色によって異なる特性のバラツキ改善が解決すべき課題となります。

◆写真

＜赤色µLEDチップ発光の様子＞

＜緑色µLEDチップ発光の様子＞

＜青色µLEDチップ発光の様子＞

＜UVµLEDチップ発光の様子＞